產(chǎn)品說(shuō)明
8-12 Inch 單片晶圓dry-in/dry-out清洗平臺，適用于先進(jìn)封裝制程的particle、有機、無(wú)機、助焊劑等污染物清洗?？蛇x配二流體、megasonic、超高壓噴洗、RCA 、Hot water及蒸氣等清洗方式，清洗工藝窗口寬，清洗能力強，占地面積小，性?xún)r(jià)比高等特點(diǎn)。
功能說(shuō)明
制程均勻度可用 recipe 調控。
良率優(yōu)于 wet bench type。
單片模式之機況可控制可追溯。
制程個(gè)別參數易于調整。
可控制之藥液量使用,能保持每片芯片之相同制程環(huán)境。
潔凈度控制優(yōu)于批次生產(chǎn)。
Footprint 較小。
適用于 wafer dry in / dry out制程。
機臺之安全性?xún)?yōu)于 bench type。
為未來(lái)濕式高階設備之主流機臺。江蘇芯夢(mèng)設備采用先進(jìn)技術(shù)，助你輕松提升產(chǎn)能！青海全自動(dòng)晶圓盒清洗機聯(lián)系人
FOUP清洗機特性：可清洗FOUP/FOSB/RSP/Cassettes 及其他可裝載于清洗籃之制品。伺服馬達驅動(dòng),設有扭力偵測安全機構，防止人為誤操作造成損壞及危險。具備停機自動(dòng)歸位功能，方便裝載清洗制品。旋干制程中除IR干燥外，運用氣流干燥，可加速去除較大水滴，增進(jìn)干燥效果; 進(jìn)而提升效率。
應用范圍：該設備主要用于半導體制程的FOUP、FOSB、Cassette的Particle清洗。
分類(lèi)：
全自動(dòng)FOUP清洗機、半自動(dòng)foup清洗機。
4寸~12寸全尺寸兼容，快速實(shí)現干進(jìn)干出，30~60分鐘完成1次清洗工藝節拍，更大吞吐量廣東全自動(dòng)片盒清洗機聯(lián)系人芯夢(mèng)設備具有多種智能功能，助你輕松應對各種挑戰！
產(chǎn)品介紹:半導體清洗機請認準江蘇芯夢(mèng)半導體設備有限公司，經(jīng)營(yíng)各類(lèi)半導體清洗機，為半導體清洗機專(zhuān)業(yè)供應商，其中就包含FOUP清洗機。FOUP清洗機是一種自動(dòng)的離心清洗機，適用于所有類(lèi)型的晶圓料盒SmifFoup、Fosb、Cassette,可以實(shí)現無(wú)與比的清洗和干燥效果裝載有待清洗的foup在Chambe的中轉安裝和固定在封的清洗室內36正反轉動(dòng)。由D1Wlate的表面張力、機械力進(jìn)Patcdle清洗離心+熱風(fēng)進(jìn)行供干等工藝組成，高效率、高質(zhì)量完成foup的Particle清洗。設備特點(diǎn)：五大系統結構、純水加熱PWH、高壓噴淋HPS（噴頭位置/形狀，可以根據客戶(hù)料盒形態(tài)針對性調整）、熱風(fēng)烘干HAD（可選配CDA吹干和紅外模式）、快速甩干HSD、CDA/N2吹掃。配備強大的兼容性：4寸~12寸全尺寸兼容，晶圓盒/光罩盒/彈匣/FOUP/FOSB等；30~60分鐘完成1次清洗工藝，快速實(shí)現干進(jìn)干出；四工位/六工位選擇，依不同產(chǎn)品適配的裝載量；配備可靠的過(guò)濾系統；EN18822-H14高等級空氣過(guò)濾系統；0.1um超純水過(guò)濾；0.003umCDA過(guò)濾。
FOUP的干燥步驟旨在將其表面的水分完全去除，以確保FOUP在后續的半導體制造過(guò)程中不會(huì )引入水分造成污染或其他問(wèn)題。以下是一般的FOUP干燥步驟：靜置排水：在沖洗步驟之后，FOUP可能會(huì )經(jīng)過(guò)一段時(shí)間的靜置，以讓水自然排出。FOUP通常被放置在傾斜或垂直的位置，以便水能夠從FOUP底部排出。噴氣干燥：為了加速干燥過(guò)程，FOUP清洗機通常配備了噴氣裝置。噴氣裝置會(huì )通過(guò)向FOUP表面噴射干燥的氣流，將水分蒸發(fā)。氣流可以是壓縮空氣或氮氣。噴氣干燥的時(shí)間和氣流的強度可以根據需要進(jìn)行調整。熱風(fēng)干燥：有些FOUP清洗機還配備了熱風(fēng)干燥功能。在噴氣干燥之后，FOUP可能會(huì )進(jìn)入一個(gè)熱風(fēng)室，其中通過(guò)加熱空氣或氮氣來(lái)加速水分的蒸發(fā)。熱風(fēng)干燥可以更徹底地去除FOUP表面的水分。真空干燥：另一種常見(jiàn)的干燥方法是利用真空環(huán)境。FOUP可能會(huì )進(jìn)入一個(gè)真空腔室，其中通過(guò)創(chuàng )建負壓，使水分在低壓下蒸發(fā)。真空干燥可以提供更快速和徹底的干燥效果。氣流凈化：在干燥過(guò)程中，清洗機通常會(huì )通過(guò)高效過(guò)濾器和空氣凈化系統提供干凈的氣流環(huán)境。這有助于防止新的顆粒進(jìn)入FOUP，并確保干燥過(guò)程中不會(huì )引入新的污染物。江蘇省晶圓盒清洗機哪家靠譜就選江蘇芯夢(mèng)半導體設備有限公司！
Foup清洗機是用于半導體生產(chǎn)中的關(guān)鍵設備，用于清洗和處理晶圓載具（Foup）。我們的Foup清洗機采用先進(jìn)的智能化設計，結構緊湊，占用空間小，適合各種生產(chǎn)場(chǎng)景。其外觀(guān)精美，質(zhì)感上乘，提升了生產(chǎn)品質(zhì)，同時(shí)采用品質(zhì)材料，使用壽命長(cháng)，是您的長(cháng)久伙伴。我們的產(chǎn)品可以個(gè)性化定制。具有多種智能功能，助您輕松應對生產(chǎn)挑戰。操作簡(jiǎn)單，維護方便，降低您的使用成本。具有高精度功能，確保生產(chǎn)體驗。采用先進(jìn)的自動(dòng)化控制技術(shù)，提升使用效率。選擇我們的Foup清洗機，讓您的晶圓生產(chǎn)更加智能化、自動(dòng)化選擇芯夢(mèng)的設備，讓你的生產(chǎn)過(guò)程更加安全、穩定！半自動(dòng)片盒清洗機怎么收費
江蘇芯夢(mèng)期待與您共同解決晶圓盒清洗問(wèn)題！青海全自動(dòng)晶圓盒清洗機聯(lián)系人
FOUP清洗機是一種清洗foup的設備，用于清洗和處理FOUP（FrontOpeningUnifiedPod）。FOUP是半導體制造過(guò)程中存放晶圓的封閉式容器。FOUP清洗機通過(guò)自動(dòng)化的清洗過(guò)程，去除FOUP內外的污染物，確保晶圓的高純度和可靠性。FOUP清洗機具備多種功能和處理能力。它能夠去除FOUP內的油脂、有機物、化學(xué)物質(zhì)殘留和水分。清洗機采用不同的清洗方法和工藝參數，如噴淋清洗、超聲波清洗、高溫處理等，以適應不同類(lèi)型的污染物，并確保清洗效果。清洗機具有高效、快速的特點(diǎn)。它能夠在短時(shí)間內完成清洗過(guò)程，提高生產(chǎn)效率。自動(dòng)化控制系統確保清洗過(guò)程的精確執行，減少人為操作的誤差。FOUP清洗機注重安全性和可靠性。它采用高質(zhì)量的材料和密封結構，確保清洗過(guò)程中不會(huì )對FOUP造成損害。安全控制系統和報警裝置保障操作人員的安全。清洗機還配備直觀(guān)的用戶(hù)界面和操作控制面板，使操作人員能夠輕松控制和監測清洗過(guò)程。清洗機還具備數據記錄和追溯功能，方便對清洗過(guò)程進(jìn)行監控和分析。它可記錄清洗參數、時(shí)間和結果等信息，為質(zhì)量控制青海全自動(dòng)晶圓盒清洗機聯(lián)系人
江蘇芯夢(mèng)半導體設備有限公司在同行業(yè)領(lǐng)域中，一直處在一個(gè)不斷銳意進(jìn)取，不斷制造創(chuàng )新的市場(chǎng)高度，多年以來(lái)致力于發(fā)展富有創(chuàng )新價(jià)值理念的產(chǎn)品標準，在江蘇省等地區的機械及行業(yè)設備中始終保持良好的商業(yè)口碑，成績(jì)讓我們喜悅，但不會(huì )讓我們止步，殘酷的市場(chǎng)磨煉了我們堅強不屈的意志，和諧溫馨的工作環(huán)境，富有營(yíng)養的公司土壤滋養著(zhù)我們不斷開(kāi)拓創(chuàng )新，勇于進(jìn)取的無(wú)限潛力，江蘇芯夢(mèng)半導體設備供應攜手大家一起走向共同輝煌的未來(lái)，回首過(guò)去，我們不會(huì )因為取得了一點(diǎn)點(diǎn)成績(jì)而沾沾自喜，相反的是面對競爭越來(lái)越激烈的市場(chǎng)氛圍，我們更要明確自己的不足，做好迎接新挑戰的準備，要不畏困難，激流勇進(jìn)，以一個(gè)更嶄新的精神面貌迎接大家，共同走向輝煌回來(lái)！