如何正確使用輪廓儀準備工作1.測量前準備。2.開(kāi)啟電腦、打開(kāi)機器電源開(kāi)關(guān)、檢查機器啟動(dòng)是否正常。3.擦凈工件被測表面。測量1.將測針正確、平穩、可靠地移動(dòng)在工件被測表面上。2.工件固定確認工件不會(huì )出現松動(dòng)或者其它因素導致測針與工件相撞的情況出現3.在儀器上設置所需的測量條件。4.開(kāi)始測量。測量過(guò)程中不可觸摸工件更不可人為震動(dòng)桌子的情況產(chǎn)生。5.測量完畢，根據圖紙對結果進(jìn)行分析，標出結果，并保存、打印。輪廓的角度處理:角度處理：兩直線(xiàn)夾角、直線(xiàn)與Y軸夾角、直線(xiàn)與X軸夾角點(diǎn)線(xiàn)處理：兩直線(xiàn)交點(diǎn)、交點(diǎn)到直線(xiàn)距離、交點(diǎn)到交點(diǎn)距離、交點(diǎn)到圓心距離、交點(diǎn)到點(diǎn)距離圓處理：圓心距離、圓心到直線(xiàn)的距離、交點(diǎn)到圓心的距離、直線(xiàn)到切點(diǎn)的距離線(xiàn)處理：直線(xiàn)度、凸度、LG凸度、對數曲線(xiàn)每個(gè)共焦圖像是通過(guò)樣品形貌的水平切片，在不同的焦點(diǎn)高度捕獲圖像產(chǎn)生這樣的圖像的堆疊。重慶輪廓儀國內用戶(hù)
輪廓儀對所測樣品的尺寸有何要求？答：輪廓儀對載物臺xy行程為140*110mm（可擴展），Z向測量范圍蕞大可達10mm，但由于白光干涉儀單次測量區域比較?。ㄒ?0X鏡頭為例，在1mm左右），因而在測量大尺寸的樣品時(shí)，全檢的方式需要進(jìn)行拼接測量，檢測效率會(huì )比較低，建議尋找樣品表面的特征位置或抽取若干區域進(jìn)行抽點(diǎn)檢測，以單點(diǎn)或多點(diǎn)反映整個(gè)面的粗糙度參數；4.測量的蕞小尺寸是否可以達到12mm，或者能夠測到更小的尺寸？如果需要了解更多，還請訪(fǎng)問(wèn)岱美儀器的官網(wǎng)。福建半導體設備輪廓儀具備異常報警，急停等功能，報警信息可儲存。
輪廓儀的技術(shù)原理被測表面(光)與參考面(光)之間的光程差（高度差）形成干涉移相法(PSI)高度和干涉相位f=(2p/l)2h形貌高度:<120nm精度:<1nmRMS重復性:0.01nm垂直掃描法(VSI+CSI)精度：?/1000干涉信號~光程差位置形貌高度:nm-mm,精度:>2nm干涉測量技術(shù)：快速靈活、超納米精度、測量精度不受物鏡倍率影響以下來(lái)自網(wǎng)絡(luò )：輪廓儀，能描繪工件表面波度與粗糙度，并給出其數值的儀器，采用精密氣浮導軌為直線(xiàn)基準。輪廓測試儀是對物體的輪廓、二維尺寸、二維位移進(jìn)行測試與檢驗的儀器，作為精密測量?jì)x器在汽車(chē)制造和鐵路行業(yè)的應用十分廣范。
2）共聚焦顯微鏡方法共聚焦顯微鏡包括LED光源、旋轉多真孔盤(pán)、帶有壓電驅動(dòng)器的物鏡和CCD相機。LED光源通過(guò)多真孔盤(pán)（MPD）和物鏡聚焦到樣品表面上，從而反射光。反射光通過(guò)MPD的真孔減小到聚焦的部分落在CCD相機上。傳統光學(xué)顯微鏡的圖像包含清晰和模糊的細節，但是在共焦圖像中，通過(guò)多真孔盤(pán)的操作濾除模糊細節（未聚焦），只有來(lái)自聚焦平面的光到達CCD相機。因此，共聚焦顯微鏡能夠在納米范圍內獲得高分辨率。每個(gè)共焦圖像是通過(guò)樣品的形貌的水平切片，在不同的焦點(diǎn)高度捕獲圖像產(chǎn)生這樣的圖像的堆疊，共焦顯微鏡通過(guò)壓電驅動(dòng)器和物鏡的精確垂直位移來(lái)實(shí)現。200到400個(gè)共焦圖像通常在幾秒內被捕獲，之后軟件從共焦圖像的堆棧重建精確的三維高度圖像。表面三維評定參數由于能更權面，更真實(shí)的反應零件表面的特征。
輪廓儀對精密加工的意義現代化高新技術(shù)的飛速發(fā)展離不開(kāi)硬件設施和軟件系統的配套支持，在精密加工領(lǐng)域同樣如此，雖然我們在生活中不曾注意到超精密加工產(chǎn)品的“身影”，但是它卻與我們的生活息息相關(guān)。例如在光學(xué)玻璃、集成電路、汽車(chē)零部件、機器人和新器件、航空航天材料、國fang jun工設備等領(lǐng)域，都需要對加工的成品進(jìn)行檢測，從物體表面光滑到粗糙的參數，其中包含了從納米到微米級別的輪廓、線(xiàn)粗糙度、面粗糙度等二維、三維參數，作為評定該物件是否合格的標準。因此光學(xué)輪廓儀應運而生，以下是表面三維輪廓儀對精密加工的作用：支持連接MES系統，數據可導入SPC。北京輪廓儀代理商
NanoX-8000主設備尺寸：1290(W)x1390(D)x2190(H) mm。重慶輪廓儀國內用戶(hù)
表面三維輪廓儀對精密加工的作用：一、從根源保障物件成品的準確性：通過(guò)光學(xué)表面三維輪廓儀的掃描檢測，得出物件的誤差和超差參數，積大提高物件在生產(chǎn)加工時(shí)的精確度。杜絕因上游的微小誤差形成“蝴蝶效應”，造成下游生產(chǎn)加工的更大偏離，蕞終導致整個(gè)生產(chǎn)鏈更大的損失。二、提高效率：智能化檢測，全自動(dòng)測量，檢測時(shí)只需將物件放置在載物臺，然后在檢定軟件上選擇相關(guān)參數，即可一鍵分析批量測量。擯棄傳統檢測方法耗時(shí)耗力，精確度低的缺點(diǎn)，積大提高加工效率。三、涵蓋面廣的2D、3D形貌參數分析：表面三維輪廓儀可測量300余種2D、3D參數，無(wú)論加工的物件使用哪一種評定標準，都可以提供權面的檢測結果作為評定依據，可輕松獲取被測物件精確的線(xiàn)粗糙度、面粗糙度、輪廓度等參數。四、穩定性強，高重復性：儀器運用高性能內部抗震設計，不受外部環(huán)境影響測量的準確性。超精密的Z向掃描模塊和測量軟件完美結合，保證高重復性，將測量誤差降低到亞納米級別。重慶輪廓儀國內用戶(hù)