激光干涉儀原理：激光器發(fā)射單一頻率光束射入線(xiàn)性干涉鏡，然后分成兩道光束，一道光束（參考光束）射向連接分光鏡的反射鏡，而第二道透射光束（測量光束）則通過(guò)分光鏡射入第二個(gè)反射鏡，這兩道光束再反射回到分光鏡，重新匯聚之后返回激光器，其中會(huì )有一個(gè)探測器監控兩道光束之間的干涉（見(jiàn)圖）。若光程差沒(méi)有變化時(shí)，探測器會(huì )在相長(cháng)性和相消性干涉的兩極之間找到穩定的信號。若光程差有變化時(shí)，探測器會(huì )在每一次光程變化時(shí)，在相長(cháng)性和相消性干涉的兩極之間找到變化信號，這些變化會(huì )被計算并用來(lái)測量?jì)蓚€(gè)光程之間的差異變化。激光干涉儀使用注意事項：避免劃傷或腐蝕導軌面絲桿，保持其不失油。江蘇工業(yè)級激光干涉儀
在激光干涉儀引力波探測器中要盡可能地使用高激光功率,使用功率循環(huán)技術(shù)?？梢杂行У刈龅竭@一點(diǎn),其基本的想法是把從干涉儀亮出來(lái)的光重新收集起來(lái),再注入干涉儀中,進(jìn)行循環(huán)利用。因為激光干涉儀引力波探測器的工作點(diǎn)選擇在暗紋條件,如果干涉儀內的光損耗很小,幾乎所有的入射光功率都會(huì )經(jīng)載頻出,這是極大的浪費。在激光器和分光鏡之間放上一面鏡子,就能實(shí)現光能的回收。這面鏡子稱(chēng)為功率循環(huán)鏡,它把這部分漏出的光與從激光器來(lái)的新鮮光混合,一起注入到干涉儀內,則干涉儀內的有效功率將增加。河南科研開(kāi)發(fā)激光干涉儀廠(chǎng)家供應激光干涉儀的測量精度與哪些因素有關(guān)？
激光干涉儀在實(shí)際使用中，需要確認其在各個(gè)測量應用中能夠達到的真實(shí)精度水平以確保測量數據準確可靠。激光干涉儀的測量讀數Z終均與激光波長(cháng)有關(guān)，因此激光器頻率的準確性和穩定性是激光干涉儀測量精度的保障。此外，激光干涉儀的環(huán)境條件補償系統(壓力、溫濕度傳感器)的讀數準確性對Z終的測量精度有著(zhù)重要的影響?？偨Y起來(lái)，影響激光干涉儀測量精度的因素包括：①激光器頻率(波長(cháng))及頻率穩定性;②測量讀數軟件系統帶來(lái)的誤差;③反射鏡、角錐棱角誤差;④溫濕度、壓力傳感器誤差;當然，在具體測量任務(wù)中的測量精度還與測量人員、現場(chǎng)環(huán)境條件等因素有關(guān)。
干涉儀是以激光波長(cháng)為已知長(cháng)度、利用邁克耳遜干涉系統測量位移的通用長(cháng)度測量工具。有單頻的和雙頻的兩種。單頻的是在20世紀60年代中期出現的，初用于檢定基準線(xiàn)紋尺，后又用于在計量室中精密測長(cháng)。雙頻激光干涉儀是1970年出現的，它適宜在車(chē)間中使用。激光干涉儀在極接近標準狀態(tài)(溫度為20℃、大氣壓力為101325帕、相對濕度59%、CO2含量0.03%)下的測量精確度很高，可達1×10。在通常情況下需要數天時(shí)間進(jìn)行的測試，使用API激光干涉儀只需幾個(gè)小時(shí)即可完成，實(shí)際應用結果表明，節省時(shí)間可達80%。該儀器體積小，重量輕，可以直接安裝到機床導軌上。影響激光干涉儀測量精度的因素包括：測量讀數軟件系統帶來(lái)的誤差。
激光干涉儀當高壓連接在陽(yáng)極和陰極之間時(shí)，混合氣體被激發(fā)，形成激光光束，通過(guò)放大激光光強使一些光透射出來(lái)成為輸出激光光束。其中，為實(shí)現平衡狀態(tài)，通過(guò)加熱器控制激光管長(cháng)度讓激光穩頻的精度保持在±0.05ppm以?xún)?，此時(shí)穩定輸出后，激光器即可進(jìn)行干涉測量。如今大多數現代位移干涉儀都使用氦氖(HeNe)激光管，這些激光管具有633納米的波長(cháng)輸出。激光器的頻率、功率、穩定性、可靠性、光束質(zhì)量及壽命等指標參數，都關(guān)系著(zhù)激光干涉儀的Z終性能。其中激光頻率是激光干涉儀Z基本的參數，其頻率(波長(cháng))的準確性和穩定性是激光干涉儀測量精度的保證。激光干涉儀，以激光波長(cháng)為已知長(cháng)度，利用邁克耳遜干涉系統測量位移的通用長(cháng)度測量。河南科研開(kāi)發(fā)激光干涉儀廠(chǎng)家供應
激光干涉儀使用注意事項：必要時(shí)要使用精密儀表油潤滑。江蘇工業(yè)級激光干涉儀
激光干涉儀的主要特點(diǎn)：測量線(xiàn)性定位誤差、直線(xiàn)度誤差（雙軸）、偏擺角、俯仰角和滾動(dòng)角。設計用于安裝在機床主軸上的5D/6D傳感器?？蛇x的無(wú)線(xiàn)遙控傳感器比較長(cháng)的控制距離可到25米?？蓽y量速度、加速度、振動(dòng)等參數，并評估機床動(dòng)態(tài)特性。全套系統重量只15公斤，設計緊湊、體積小，測量機床時(shí)不需三角架。集成干涉鏡與激光器于一體，簡(jiǎn)化了調整步驟，減少了調整時(shí)間。激光干涉儀可以同時(shí)測量線(xiàn)性定位誤差、直線(xiàn)度誤差(雙軸)、偏擺角、俯仰角和滾動(dòng)角等，以及測量速度、加速度、振動(dòng)等參數，并評估機床動(dòng)態(tài)特性等。江蘇工業(yè)級激光干涉儀